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-Manufacturer : Rudolph

-Type : wafer inspection
-Model :AXI-930B

1、設備可適用8”和12”的圓片，8”圓片厚度≥190微米，12”圓片厚度≥400微米，翹曲度小于200um。
2、攝像頭解析度：像素為1200x1600 pixels。不同物鏡下的最小分辨率：4.8um @ 2X，3.2um @ 3X，1.9um @ 5X，0.95um @ 10X，0.48um@20X。
3、可靠性：運行10次進行計算，可靠性> 95%（在+/-1個像素誤差條件下）
4、誤報率：誤報率 < 2%（在+/-1個像素誤差條件下）
5、捕捉率：捕捉率>= 95%（在+/-1個像素誤差條件下）